Ätzgeschwindigkeit

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Ionenstrahlätzen — Ionenstrahlätzen, Trockenätzverfahren der Halbleitertechnologie, bei dem mit hochbeschleunigten Ionenstrahlen nach dem Prinzip der Kathodenzerstäubung auf einem Wafer Strukturen integrierter Schaltungen herausgearbeitet werden können. Durch… … Universal-Lexikon
Mikrotechnik: Typische Herstellungsverfahren — Den Unterschied zwischen Mikroelektronik und Mikrotechnik kann man am ehesten anhand der Idee einer implantierbaren Medikamenten Mikrodosierpumpe aufzeigen. Diese soll möglichst klein sein und bei Bedarf beispielsweise Insulin an den Körper… … Universal-Lexikon

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